자체기술력으로 개발된 FE 전자총이 구성된 Schottky 타입의 전계방사형주사전자현미경으로 고배율에서 많이 사용한다. 

* 분해능: 2nm

* 배율 : x20~x300,000

* 유효배율 : x20~x200,000 

* 전자소스 : FE(Schottky)

* 크기 : 760 x 850 x 1200mm (W x D x H)

* 가속 전압 : 0.5~30kV

* 자동화 스테이지 : 5축(X,Y,Z, R,T)